当手持光谱仪的外层电子跃入内孔时，释放的能量并没有被原子吸收，而是以光子的形式释放出来，产生x射线荧光，其能量等于两者之间的能量差。两个分子的两个能级。因此，射线荧光的能量或波长是特征性的，与元素一一对应。只要手持光谱仪测量荧光x射线的波长，就可以知道元素的类型。这是荧光x射线定性分析的基础。此外，荧光x射线的强度与相应元素的含量也有一定的关系。
在此基础上，手持光谱仪就可以进行元素的定量分析。手持光谱仪将样品元素的x射线特征光谱的光信号转换成易于测量的电信号，从而获得被测元素的特征信息。
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